2023-11-07
반도체 초순수 생산용 혼상 이온교환수지 ‘레바티트 울트라퓨어 1296 MD플러스’ 국내 출시
- 금속 함량이 매우 낮아 금속 이온 누출 0.1ppt 미만으로 관리
- 입자 및 유기물 배출이 적어 TOC(총유기탄소) 농도 최소화
글로벌 특수화학기업 랑세스가 반도체 제조를 위한 초순수 생산용 혼상 이온교환수지 ‘레바티트 울트라퓨어 1296 MD 플러스 (Lewatit® UltraPure 1296 MD PLUS)’를 국내에 본격 선보인다.
‘레바티트 울트라퓨어 1296 MD 플러스’는 초순수 품질이 결정되는 최종 폴리싱 단계를 위해 특별히 개발된 혼상 이온교환수지 솔루션이다.
초순수는 반도체의 웨이퍼, 마이크로칩 등의 생산 과정에서 진행되는 습식 화학공정의 필수 요소로, 최근에는 초정밀 공정이 필수적으로 요구되면서 초순수의 품질요건 또한 더욱 엄격해지고 있다. 특히 최종 폴리싱 단계는 초순수의 품질이 결정되는 가장 중요한 정제 과정으로 ppt(1조 분의 1)에서 ppb (1천조 분의 1) 범위의 미량의 이온도 제거할 수 있는 고도의 이온교환수지 시스템이 필수다.
레바티트 울트라퓨어 1296 MD 플러스는 철, 아연, 나트륨 등과 같은 금속의 함량이 매우 낮은 것이 특징이다. 유도 결합 플라즈마 질량 분석(ICP-MS) 결과, 금속 이온 누출이 0.1ppt 미만으로 관리되는 등 금속 검출량이 분석한계치에 근접할 정도로 낮은 수치를 보였다.
또한, 나노미터 범위까지 금속과 입자 배출을 최소화하고, 유기물 배출이 적어 TOC(총유기탄소) 농도가 극히 낮은 것도 장점이다. 여과 과정에서 금속이온, 붕소, 실리카 등의 불순물 제거에 탁월한 효과를 자랑한다.
랑세스코리아 액체정제기술 사업부 김도형 상무는 “레바티트 울트라퓨어 제품군이 한국 반도체 및 디스플레이 산업의 비용 효율성과 지속가능성, 정밀성을 높이는 데 기여할 수 있을 것”이라고 말했다.
랑세스 이온교환수지 및 어플리케이션에 대한 보다 자세한 정보는 레바티트 웹사이트(www.lewatit.com)에서 확인할 수 있다.
랑세스(LANXESS)
랑세스는 글로벌 선두의 특수화학기업으로 고품질 중간체, 첨가제 및 소비자 보호 특수화학제품의 개발, 생산 및 판매를 주요 사업으로 하고 있다. 현재 전세계 32개국에서 13,000여 명의 임직원들이 근무하고 있다. 2022년 기준 매출은 81억 유로다. 랑세스는 세계적 권위의 다우존스 지속가능경영지수 월드와 유럽(Dow Jones Sustainability Index, DJSI World and Europe)에 편입되어 지속가능경영 성과를 인정받고 있다.
미래예측정보
본 보도자료에 포함된 미래예측정보는 현재 랑세스의 추정과 의견, 예측, 관점과 제3의 정보 인용 등을 바탕으로 작성되었으며 잠재 위험 요소, 불확실한 시장 상황 등에 따라 회사와 관련된 수치, 재무 상태, 성장 및 성과 등은 명시된 내용과 달라질 수 있다. 자사는 미래예측정보에 포함된 의견의 오류 여부에 대해 보장하지 않으며 예측된 정보의 정확성 및 실제 전개 결과에 대한 일체의 의무를 지지 않는다. 또한 자사는 미래예측정보에 포함된 추정치, 목표치, 의견과 관련된 진술 및 보증을 하지 않으므로 내용상 오류, 생략, 오성명에 관한 어떠한 법적 책임도 지지 않는다. 따라서 랑세스 및 랑세스 계열사 담당자나 책임자, 그 외 직원들은 본 보도자료 사용으로 인해 직간접적으로 발생하는 문제에 관한 어떠한 책임도 지지 않는다.
